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    精密硅晶片 玻璃晶圓

    發布時間:2016/8/12

    晶圓(Wafer)是指硅半導體集成電路制造所用的硅芯片,因為其形狀為圓形,故稱為晶圓。晶圓是出產集成電路所用的載體,通常含義晶圓多指單晶硅圓片。

    晶圓是很常用的半導體玻璃材料,按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等標準,近期發展出12英寸乃至研發更大標準(14英吋、15英吋、16英吋、……20英吋以上等)。晶圓越大,同一圓片上可出產的IC就越多,可降低成本;但對資料技能和出產技能的請求更高。通常以為硅晶圓的直徑越大,代表著這座晶圓廠有非常好的技能.在出產晶圓的進程傍邊,良品率是很重要的條件。


    二氧化硅礦石經由電弧爐提煉,鹽酸氯化,并經蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達99.999999999%。晶圓制造廠再將此多晶硅熔解,再于溶液內摻入一小粒的硅晶體晶種,然后將其漸漸拉出,以構成圓柱狀的單晶硅晶棒,因為硅晶棒是由一顆小晶粒在融熔態的硅原猜中逐漸生成,此進程稱為“長晶”。 硅晶棒再經過研磨,拋光,切片后,即變成集成電路工廠的基本質料——硅晶圓片,這即是“晶圓”。

    簡單的說,單晶硅圓片由一般硅砂拉制提煉,經過溶解、提純、蒸餾一系列辦法制成單晶硅棒,單晶硅棒經過拋光、切片以后,就變成了晶圓。

    晶圓經屢次光罩處理,其間每一次的過程包括感光劑途布、曝光、顯影、腐蝕、浸透或蒸著等等,制成具有多層線路與元件的IC晶圓,再交由后段的測驗、切開、封裝廠,以制成實體的集成電路制品。

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